Une caméra optique à balayage linéaire est incorporée au système afin de fournir une image de l’échantillon. L’analyse est réalisée sans contact avec la surface de l’échantillon et est complètement non destructive.
Une source intense de rayonnement X est fournie par un tube à rayons X muni d’une anode en molybdène, la puissance maximum étant de 3 kW à 50 mA. Ces rayons X sont canalisés et amincis à travers un dispositif optique (développé par Cox Analytical Systems). Ce système génère un rayonnement de section transversale rectangulaire et de dimension nominale de 22 mm x 100 microns. Deux autres tubes sont également disponibles et permettent d’améliorer les limites de détection pour les éléments de Al à Ti (anode au Cr) et pour Mo et Nb (anode au Rh).
